EACVD
- 网络电子辅助化学气相沉积；热丝化学气相沉积；电子辅助化学气相沉积法
EACVDEACVD
电子辅助化学气相沉积
采用自行研制的电子辅助化学气相沉积(EACVD)装置(见图1)在?100mm的Si基片上制备0.8～1.0mm厚的大尺寸金刚石厚膜，沉 …
热丝化学气相沉积
本工作采用电子增强热丝化学气相沉积(EACVD)技术,以硫为掺杂原子,并利用紫外光光刻技术,以Si02作掩模,在p型硅衬底上制备 …
电子辅助化学气相沉积法
吴南春;电子辅助化学气相沉积法（EACVD）制备纳米金刚石薄膜及其光电性能的研究[D];上海大学;2008年向霞;植入复合纳米 …
电子辅助热灯丝
2.1 电子辅助热灯丝(EACVD)方法简介28-33 2.1.1 实验设备简介28-30 2.1.2 真空系统30-31 2.1.3 热灯丝的选择31-32 2.1.4 EA…
电子促进法
...法(LaserablationCVD2LCVD),电子促进法(EACVD)和火焰法(CFD)等.图6为热丝法系统示意图.... 惩督亮整穴腻钉鸿头泰赦耙 …
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