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三维微电子机械系统
3D-MEMS
网络释义
3D-MEMS
三维微电子机械系统
三维微电子机械系统
（
3D-MEMS
），是将硅加工成三维结构，其封装和触点便于安装和装配，用这种技术制作的传感器具有极 …
例句：
1
VTI
's
accelerometers
are
based on
our
proven
and robust
silicon
capacitive
3D-
MEMS
technology
.
VTI
的
加速度计
是
基于
公司
已经
成熟
的
硅
电容式
3D-MEMS
技术
制作
的
。
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