microactuators
- 网络微致动器；微促动器；微控器
microactuatorsmicroactuators
微致动器
...，同 时整合微感应器(Microsensors)与微致动器(Microactuators) 等机构元件，封装在同一系统内。
微促动器
• 微促动器(Microactuators)• 微电子机器系统MEMS 和 奈米机电系统 NEMS • 化学和生物传感器 • 基於石墨烯的多功能材料 • …
微控器
...基材之电容性微感测器(microsensors)、微控器(microactuators) 及微小机电系统 (MEMS)(Micro-Electro-Mechanical Systems)。