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micromachined

网络微机械；微机械的；微型电机

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微机械

近年来，美国某些研究机构就利用微机械（Micromachined）技术，在高介电常数介质上的微带天线进行研究，并有相关的结果 …

微机械的

Nanomos Technology - Excel ... Microinductor 微电感器 micromachined 微机械的 micromachined accelero meter 微机械加速 …

微型电机

采用微型电机（micromachined）技术和绝缘体上外延硅（SOI）晶片，Oki公司成功开发出结合高震荡残存性、1.4mm薄膜和 …

微机电

该模块采用微机电(micromachined)技术与绝缘体硅(SOI)晶圆制造，从而实现小尺寸和高耐冲击特性。这是Oki面向MEMS市场 …

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Highly sensitive silicon micromachined tunneling sensors with small size and light mass have been widely explored in the last 15 years .

基于硅加工的高灵敏微型隧道传感器在过去 15 年里得到了充分的发展。

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In Chapter 2, the operation scheme of a micromachined piezoresistive accelerometer with axially deformed tiny beams is studied in details .

第二章详细论述了一种新型的微梁直拉直压硅微机械压阻式加速度传感器的工作原理。

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Secondly , the main errors of silicon micromachined gyros are analyzed .

其次，分析了硅微陀螺仪的主要误差源。

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Firstly, this thesis researches the dynamic equation of micromachined gyros .

论文首先研究了微机械陀螺仪的动力学方程。

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Based on the movement equations, this thesis analyzes error and error mechanism of vibrating ring silicon micromachined gyros .

在此基础上，分析了振动环形微机械陀螺仪的误差源和误差机理。

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