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纳米计量

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A set of multi-pass position laser interferometer system is established. Its higher resolution can meet the needs of nanometrology.

为此特别研制了多倍程激光干涉仪系统，其具有较高的分辨率，能够满足纳米计量的需要。

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Analysis of nanometrology and atom photolithography

纳米计量与原子光刻技术分析

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