光刻机
- 网络Mask Aligner; Stepper; DSW
光刻机光刻机
Mask Aligner
12 光刻机 (Mask aligner) 它是将掩膜版上的图形与前次工序中已刻在硅片上的图形对 准后，再对硅片表面的光刻胶进行曝光实 …
Stepper
光刻机（Stepper）是制造大规模集成电路的关键设备。2个分类：导航 帮助 工具 其他语言 概要 [编辑] 主要厂商 [编辑] 半导体 …
DSW
张凤鸣;;分步重复投影光刻机(DSW)照明光学系统的研制[J];光电工程;1987年04期3 4 张保贵;;显微镜透射式照明光学系统[J];应 …
Lithography System
...ot Plate）、显影机（Developer）、光刻机(曝光机-Lithography System )、紫外线固化机（UV）等，其广泛应用于微电子、 …
aligner
...（DUV）、极深紫外光 （EUV） IC制造工艺 光刻机（aligner）直译为对准器，可见每一层的对准具有很 重要的意义 光刻机 …
Lithography Tool
... 上讲内容： 上讲内容：光刻与光刻机 对准和曝光在光刻机(Lithography Tool)内进行。
wafer stepper
...光谱，然而热胀问题任然存在，70年代后期出现了部进光刻机（wafer stepper）：硅片移动（步进）到下一个需要被曝光的 …
lithography machine
电器电子词汇英语翻译(H-N) ... lithography 光刻 lithography machine 光刻机 lna 低噪声放大器 ...
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