UV-LIGA

  • 网络紫外光刻;紫外光深刻模造法;紫外深度光刻

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UV-LIGA

紫外光刻

...SU-8 环氧树指为基础之负型厚膜光阻之后,利 用紫外光刻UV-LIGA)进行高深宽比结构之制造便被广为研究,其在微机电 …

紫外光深刻模造法

在本研究中,以紫外光深刻模造法(UV-LIGA)用 UV 光照射於 SU-8 光阻上,然后再配合微电铸技术得到Ni-Co 基生物晶片模版,作 …

紫外深度光刻

...,如LIGA技术制作高深宽比微结构的基本加工技术、紫外深度光刻(UV-LIGA)、高深宽比微电铸和模铸加工、功能材料薄膜制 …

光蚀刻制程

...3-1 (UV-LIGA) (MEDM ) 即以黄光蚀刻制程(UV-LIGA)一次同时制作出數十个微柱阵列, 再结合微 放电加工技术(MEDM ) 一 …

电铸和注塑

...Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试(本文共计3页)......[继 …

紫外厚胶光刻工艺

...加工技术,它采用同步辐射X光光刻工艺(LIGA)、紫外厚胶光刻工艺UV-LIGA)或硅深层刻蚀工艺(DEM),以及后续 …

分类号

一种新型微流控芯片金属热压模具的制作工艺研... ... 年,卷(期): TN305.7 TQ153 分类号UV-LIGA 电铸 TG7 TS7 ...

紫外光光刻术

...可分为四个主要范围,分别为X光深刻术(LIGA)、紫外光光刻术UV-LIGA)、雷射光刻(Laser-LIGA)以及高深度反应离 …

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